高純級(EL級)過(guò)氧化氫:該產(chǎn)品金屬雜質(zhì)含量小于100ppb,控制1微米粒徑粒子,達到SEMIC1、C2標準,適合中小規模集成電路及電子元件加工工藝。
產(chǎn)品包裝規格:30公斤/桶,200公斤/桶,1000公斤/桶,以及30噸槽車(chē)。
產(chǎn)品介紹:電子級過(guò)氧化氫(UP級)使用0.8微米以上集成電路及TFT-LCD制造工藝,金屬雜質(zhì)含量小于10PPb,產(chǎn)品經(jīng)過(guò)0.2微米孔徑過(guò)濾,控制0.5微米粒子,在100級凈化環(huán)境中灌裝達到SEMIC7標準,產(chǎn)品主要用作半導體硅晶片清洗劑,蝕刻劑和光刻膠去除劑,還可用于要求較高的緣層制取,電鍍液無(wú)機雜質(zhì)去除,電子行業(yè)中銅、銅合金和鎵、鍺的處理,以及太陽(yáng)能硅晶片的燭刻和清洗。在處理過(guò)程中,試劑中的雜質(zhì)會(huì )對元器件性能產(chǎn)生致命影響,因此,超凈高純過(guò)氧化氫對純度的要求非??量?。